![Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии](/uploads/covers/d4/d46b0bfe294b843542e71ab3ccf2caee1faea54e.jpg)
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии
Жанр:
Современная проза
Аннотация
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок.
Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
Читайте также